特許

J-GLOBAL ID：200903004405852080

測定信号処理装置

発明者： ペター フレイリンク
出願人/特許権者： フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-146313
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194323
出願日： 1993年06月17日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【目的】 多層構造体の各層の厚さ及び組成を自動的に決定できる測定信号処理装置を提供することにある。【構成】 基板(100) 上に形成され界面において微小な屈折率差を有する実際の多層構造体により、X線波長(λRX)が視射角(θ)の関数として反射された強度に対応する測定された信号を処理する測定信号処理装置である。この測定信号処理装置は、最小角度値θmin と最大角度値θmax とによって境界される視射角範囲において視射角(θ)の関数として測定された前記反射強度信号に対応する関数(f(θ)を、前記実際の多層構造体中の深さの関数として表わされる強度信号に対応する関数(F(d))に変換する手段を具え、前記得た関数(F(d))により、実際の多層構造体の各界面の深さ(d1,d2 ...dn )及び関連する反射強度を直接表示できるように構成する。

請求項（抜粋）：

基板(100) 上に形成され界面において微小な屈折率差を有する実際の多層構造体により、X線波長(λRX)が視射角(θ)の関数として反射された強度に対応する測定された信号を処理する測定信号処理装置において、最小角度値θmin と最大角度値θmax とによって境界される視射角範囲において視射角(θ)の関数として測定された前記反射強度信号に対応する関数(f(θ)を、前記実際の多層構造体中の深さの関数として表わされる強度信号に対応する関数(F(d))に変換する手段を具え、前記得た関数(F(d))により、実際の多層構造体の各界面の深さ(d1,d2 ...dn )及び関連する反射強度を直接表示できるように構成したことを特徴とする測定信号処理装置。

IPC (2件)：

G01N 23/207 ,  G01B 15/02