特許

J-GLOBAL ID：200903004408574332

バリアリブ状物の形成装置および形成方法

発明者： 植杉 隆二 ,  神田 義雄 ,  黒光 祥郎
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-096732
公開番号（公開出願番号）：特開2003-297233
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月17日
要約：

【要約】【課題】 バリアリブ状物の形成装置において、ペーストの除去を行うことなく、連続的に複数の基板にバリアリブ状物を形成することができるようにする。【解決手段】 基板20を水平に配置する基台2と、基台2の上方に設けられたヘッド部3と、下部にくし歯を有し、該下部を水平にして基板20に対向配置させ、かつ、ヘッド部3に保持されたブレード5とを備え、基板20の表面に形成されたペースト膜21にくし歯を突き刺してヘッド部3と共に、ブレード5が基台2に対して相対的に水平方向に移動することにより基板20の表面にバリアリブ状物22を形成するバリアリブ状物の形成装置1において、ヘッド部3の移動方向前方側にペースト膜21から分離されたペーストを回収するペースト回収ケース12が設けられていることを特徴とするバリアリブ状物の形成装置1を提供する。

請求項（抜粋）：

基板を水平に配置する基台と、前記基台の上方に設けられたヘッド部と、下部にくし歯を有し、該下部を水平にして前記基板に対向配置させ、かつ、前記ヘッド部に保持されたブレードとを備え、前記基板の表面に形成されたペースト膜に前記くし歯を突き刺して前記ヘッド部と共に、前記ブレードが前記基台に対して相対的に水平方向に移動することにより前記基板の表面にバリアリブ状物を形成するバリアリブ状物の形成装置において、前記ヘッド部の移動方向前方側に前記ペースト膜から分離されたペーストを回収するペースト回収ケースが設けられていることを特徴とするバリアリブ状物の形成装置。

IPC (5件)：

H01J 9/02 ,  B05C 11/02 ,  B05C 11/10 ,  B05D 5/06 104 ,  H01J 11/02

FI (5件)：

H01J 9/02 F ,  B05C 11/02 ,  B05C 11/10 ,  B05D 5/06 104 L ,  H01J 11/02 B

Fターム (20件)：

4D075AC57 ,  4D075AC84 ,  4D075AC88 ,  4D075CB21 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC24 ,  4D075EA14 ,  4F042AA02 ,  4F042AA10 ,  4F042CC02 ,  4F042CC09 ,  4F042CC15 ,  4F042DD02 ,  4F042DD07 ,  4F042DD19 ,  5C027AA09 ,  5C040GF19 ,  5C040JA02 ,  5C040MA23