特許

J-GLOBAL ID：200903004411638384

面位置検出装置、並びに該検出装置を用いた露光装置および露光方法

発明者： 川口 透
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-111314
公開番号（公開出願番号）：特開2001-296105
出願日： 2000年04月12日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：

【要約】【課題】 光学系の構成および配置について被検面の制約を実質的に受けることがなく、周囲の振動や温度変動等に起因する検出精度の悪化を良好に抑えることのできる面位置検出装置。【解決手段】 被検面(Wa)の面位置を検出する面位置検出装置である。被検面上に斜め方向から光束を投射するための投射系(1〜6)と、被検面で反射された光束を受光するための受光系(7〜14)とを備えている。投射系の光路および受光系の光路のうちの少なくとも一方の光路には、偶数面の反射面を有し入射光束を該入射光束とは非平行な角度で射出させる光束偏向手段(6,7)が設けられている。受光系の出力に基づいて被検面の面位置を検出する。

請求項（抜粋）：

被検面の面位置を検出する面位置検出装置において、前記被検面上に斜め方向から光束を投射するための投射系と、前記被検面で反射された光束を受光するための受光系とを備え、前記投射系の光路および前記受光系の光路のうちの少なくとも一方の光路には、偶数面の反射面を有し入射光束を該入射光束とは非平行な角度で射出させる光束偏向手段が設けられ、前記受光系の出力に基づいて前記被検面の面位置を検出することを特徴とする面位置検出装置。

IPC (5件)：

G01B 11/00 ,  G02B 7/28 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/02 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G01B 11/00 A ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/02 H ,  G02B 7/11 M ,  H01L 21/30 526 B

Fターム (43件)：

2F065AA04 ,  2F065AA14 ,  2F065BB02 ,  2F065CC20 ,  2F065DD00 ,  2F065DD14 ,  2F065EE01 ,  2F065FF01 ,  2F065FF07 ,  2F065FF44 ,  2F065FF61 ,  2F065GG07 ,  2F065GG24 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL00 ,  2F065LL12 ,  2F065LL13 ,  2F065LL28 ,  2F065LL47 ,  2F065LL59 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ00 ,  2F065UU07 ,  2H051AA10 ,  2H051BB29 ,  2H051CB11 ,  2H051CB14 ,  2H051CC03 ,  5F046BA04 ,  5F046CB02 ,  5F046CB10 ,  5F046CB14 ,  5F046CB26 ,  5F046DA14 ,  5F046DB05 ,  5F046DB11 ,  5F046DC09