特許

J-GLOBAL ID：200903004413637989

荷電粒子線顕微方法

発明者： 黒田 勝広
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-362129
公開番号（公開出願番号）：特開平11-242942
出願日： 1988年11月24日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：

【要約】【課題】 一段又は二段のE×Bフィルタと試料に印加した一次電子線を減速する電界により電子線像の高分解能を実現する。【解決手段】 電子線からの一次電子線を絞るためのコンデンサレンズと試料との間にE×Bフィルタを配置しかつ試料に一次電子線を減速する電圧を印加して試料からの二次電子線を計測する。

請求項（抜粋）：

荷電粒子源から第1の荷電粒子線を所定の加速電圧で引き出し、引き出した前記第1の荷電粒子線を絞るためのレンンズを通過させ、試料上の所定の位置へ走査偏向する工程と、偏向された前記第1の荷電粒子線を減速させるための減速電界を通って試料に照射する工程と、試料へ前記第1の荷電粒子線の照射により試料から発生する第2荷電粒子線と前記第1の荷電粒子線とをフィルタで分離する工程と、前記分離工程で発生する前記第1の荷電粒子線へ影響を与え、前記影響をフィルタを用いて補正する工程を含むことを特徴する荷電粒子線顕微方法。

IPC (3件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/05 ,  H01J 37/244

FI (3件)：

H01J 37/28 B ,  H01J 37/05 ,  H01J 37/244