特許

J-GLOBAL ID：200903004414276033

窒化ガリウムの製造方法

発明者： 松本 守男 ,  岩田 哲裕
出願人/特許権者： 古河機械金属株式会社
代理人 (1件)： 森 哲也 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-206692
公開番号（公開出願番号）：特開2001-031407
出願日： 1999年07月21日
公開日（公表日）： 2001年02月06日
要約：

【要約】【課題】 窒化ガリウムを高効率かつ安価に製造する。【解決手段】 テルル化ガリウムをガリウム原料として窒素源と加熱下で反応させる。テルル化ガリウムは低温で分解し、活性に富むガリウムを生成する。このガリウムと窒素源とが反応して窒化ガリウムが高効率で製造される。分解によって排出されるテルル2は、テルル回収用ラッパ管1で回収してテルル化ガリウムの製造に再利用する。テルルを再利用して製造したテルル化ガリウムは、ガリウム原料とし使用される。

請求項（抜粋）：

テルル化ガリウムをガリウム原料として窒素源と加熱下で反応させることを特徴とする窒化ガリウムの製造方法。