特許
J-GLOBAL ID：200903004421555762
金属イオン生成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-282670
公開番号（公開出願番号）：特開平7-134961
出願日： 1993年11月11日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】 本発明は金属イオン生成方法に関し、特に、プラズマの不安定化及び真空状態の悪化を伴うことなく、イオンを安定にしかも多量に効率よく生成し、ビームとして取出すことを目的としている。【構成】 本発明による金属イオン生成方法は、イオン化室(4)内に熱的に絶縁された金属(50)をイオン化を妨げない状態で挿入し、この金属(50)をプラズマ又はECRで加速された電子により加熱・昇温を行って金属蒸発をイオン化させ、安定したイオン生成を得る構成である。
請求項（抜粋）：
金属イオンを生成させる金属イオン生成装置(1A)のイオン化室(4)内に、熱的に絶縁された金属(50)をイオン化を妨げない筒状あるいは棒状で挿入し、前記金属(50)を前記イオン化室(4)内のプラズマ又はECRで加速された電子により、加熱・昇温を行い、前記金属(50)を蒸発させて発生する金属蒸気を前記イオン化室(4)内でイオン化させることにより金属イオンを生成させることを特徴とする金属イオン生成方法。
IPC (4件)：
H01J 37/08
, C23C 14/48
, H01J 27/22
, H01L 21/265
