特許
J-GLOBAL ID：200903004433128231
ウェハ位置教示方法および教示用治具
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2002009076
公開番号（公開出願番号）：WO2003-022534
出願日： 2002年09月06日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：
作業者の視覚に拠らないで半導体ウェハの位置を精度良く、自動的に教示する方法を提供すること、および、その方法に使用する教示用治具を提供することを目的とする。そのために、本発明はロボットのウェハ把持部5の先端に設けた第1の第1の透過式センサ6で教示用治具11を検出するものである。また教示用治具11を半導体ウェハと同一の外径を有する大円板部12と、大円板部12と中心軸を共通にする小円板部13で構成するものである。またウェハ把持部5上に第2の透過式センサ18を備え、教示用治具21を検出するものである。また、第2の透過式センサ18を、センサ用治具15上に搭載して、ウェハ把持部5に着脱自在とするものである。
請求項（抜粋）：
収納容器と処理装置の間あるいは処理装置相互の間で半導体ウェハの搬送を行なうロボットに前記半導体ウェハの位置を教示する方法において、
前記収納容器あるいは前記処理装置の半導体ウェハを設置する位置に教示用治具を設置し、前記ロボットのハンドの先端に設けた第1の透過式センサで前記教示用治具を検出することを特徴とするウェハ位置教示方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B25J9/22 Z
, B25J9/22 A
, H01L21/68 F
