特許
J-GLOBAL ID:200903004439741040

単一つりあいビーム形静電電圧計モジュレータ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小堀 益
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-041339
公開番号(公開出願番号):特開平6-003396
出願日: 1993年03月02日
公開日(公表日): 1994年01月11日
要約:
【要約】【構成】 中央で支持されてつりあいが取られて、規則的に振動するように駆動されるようにした単一つりあいビーム形振動素子(32)と、振動素子(32)の端部に設けられ、静電界との容量結合関係を感知して静電界の大きさを表す信号を発生することができる電極(34)を備えた、静電界の大きさを測定するための装置。電極と静電界との結合は、開口(42)を通過するように電極(34)を振動させることによって、変調(結合/減結合)される。【効果】 単一ビーム構造によって、駆動信号とセンサ信号との分離を向上させることができ、これによってこれらの信号の望ましくないクロスカップリングを相当に減少させることができる。本発明はさらに、センサ素子が各変調サイクルで外部電界に2度さらされる配置を用いることによって、変調周波数を簡単に倍増することができる。
請求項(抜粋):
静電界の大きさを測定するための、次のものを有する装置:つりあいビーム形振動素子;前記つりあいビーム形振動素子を弾性的に支持する手段;前記つりあいビーム形振動素子を振動させるドライブ手段;および前記つりあいビーム形振動素子と作動連結して、静電界との容量結合関係を感知して、結合関係の変調中に静電界の大きさを表す信号を発生する電極。
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平2-071166
  • 特開平1-216273

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