特許

J-GLOBAL ID：200903004449398760

クリ-ニング機能を有するウエハチャックおよびウエハチャックのクリ-ニング方法

発明者： 信楽 俊幸
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-373801
公開番号（公開出願番号）：特開2000-195930
出願日： 1998年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】【課題】 露光装置などで使用されるウエハチャックの簡便で省スペースなクリーニング手段を提供する。【解決手段】 ウエハチャック自体にチャック表面のクリーニングを行う機能を具備させる。特に、クリーニング機能として超音波振動を用いる。

請求項（抜粋）：

チャック表面のクリーニングを行う機能をチャック自体に有していることを特徴とするウエハチャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/30 503 B ,  H01L 21/30 503 G

Fターム (11件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA13 ,  5F031HA01 ,  5F031HA13 ,  5F031MA23 ,  5F031MA27 ,  5F031NA13 ,  5F031NA15 ,  5F031PA24 ,  5F046CC08