特許

J-GLOBAL ID：200903004452128617

棒状ワークの高温加熱装置

発明者： 松田 至康 ,  毛利 元治 ,  佐藤 博之 ,  島田 忠克 ,  山村 和市 ,  平沢 秀夫 ,  剱持 惣一郎 ,  鈴木 晃彦
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社 ,  信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 堀田 実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-222572
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062069
出願日： 1996年08月23日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】 ワークの長さ方向に温度差を付けて加熱することができ、これにより局部加熱が可能であり、かつ、ヒータ電力及びパージガス量を低減してランニングコストを下げ、かつ、ヒータ等のカーボン部材の消耗を低減することができる棒状ワークの高温加熱装置を提供する。【解決手段】 高温加熱炉1が、上下方向に分割されそれぞれ独立して制御される複数の抵抗加熱ヒータ12と、ヒータ間に設置された熱遮蔽板14とを備え、各ヒータをゾーンコントロールしてワーク6を局部的に輻射加熱する。

請求項（抜粋）：

上下に開口部を有し内部を通る棒状ワークを加熱する高温加熱炉と、前記上部開口部から下部開口部までワークを吊り下げて下降させる吊りロッドと、高温加熱炉内を不活性ガスでパージするガスパージ装置とを備えた棒状ワークの高温加熱装置において、前記高温加熱炉は、上下方向に分割されそれぞれ独立して制御される複数の抵抗加熱ヒータと、該ヒータ間に設置された熱遮蔽板と、を備え、これによりヒータをゾーンコントロールしてワークを局部的に輻射加熱する、ことを特徴とする棒状ワークの高温加熱装置。

IPC (2件)：

F27B 5/04 ,  F27B 5/14

FI (2件)：

F27B 5/04 ,  F27B 5/14

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 単結晶の製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-231920   出願人：住友電気工業株式会社
• 特開平2-309179