特許

J-GLOBAL ID：200903004464606107

電気光学装置、電気光学装置用の駆動基板、及びこれらの製造方法

発明者： 山中 英雄 ,  矢元 久良 ,  佐藤 勇一 ,  矢木 肇
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-363867
公開番号（公開出願番号）：特開2000-187243
出願日： 1998年12月22日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：

【要約】【課題】 高い電子/正孔移動度の単結晶シリコン薄膜を比較的低温でかつ均一に成膜し、高性能ドライバ内蔵のアクティブマトリクス基板と、これを用いた表示用薄膜半導体装置等の電気光学装置とを製造する方法の提供が望まれている。【解決手段】 第1の基板1の一方の面上に段差4を形成し、この段差4を含む第1の基板1上に半導体を含有した錫あるいは鉛あるいは錫と鉛との合金からなる低融点金属の溶融液層6とを形成し、その後、この溶融液層6を冷却処理することによって段差4をシードとして単結晶半導体層7をグラフォエピタキシャル成長させ、この単結晶半導体層7に所定の処理を施して能動素子及び受動素子のうちの少なくとも能動素子を形成する。

請求項（抜粋）：

画素電極が配された表示部と、この表示部の周辺に配された周辺駆動回路部とを第1の基板上に有し、この第1の基板と第2の基板との間に所定の光学材料を介在させてなる電気光学装置において、前記第1の基板の一方の面上に段差が形成され、この段差を含む前記第1の基板上に、半導体を含有した錫あるいは鉛あるいは錫と鉛との合金からなる低融点金属の溶融液層が形成され、さらに該低融点金属の溶融液層が冷却処理されることにより前記段差をシードとして前記半導体がグラフォエピタキシャル成長させられ、析出されてなる単結晶半導体層が設けられ、この単結晶半導体層が能動素子及び受動素子のうちの少なくとも能動素子を構成していることを特徴とする電気光学装置。

IPC (5件)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 27/15 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H05B 33/26

FI (7件)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 27/15 B ,  H05B 33/26 Z ,  H01L 29/78 612 B ,  H01L 29/78 616 A ,  H01L 29/78 626 C ,  H01L 29/78 627 G

Fターム (110件)：

2H092JA25 ,  2H092JA26 ,  2H092JA29 ,  2H092JA38 ,  2H092JA40 ,  2H092JA42 ,  2H092JA44 ,  2H092JB07 ,  2H092JB44 ,  2H092JB58 ,  2H092KA03 ,  2H092KA07 ,  2H092KA10 ,  2H092KA12 ,  2H092KA18 ,  2H092KB13 ,  2H092KB14 ,  2H092KB22 ,  2H092MA07 ,  2H092MA08 ,  2H092MA15 ,  2H092MA27 ,  2H092MA29 ,  2H092MA37 ,  2H092MA41 ,  2H092NA05 ,  2H092NA21 ,  2H092PA08 ,  2H092PA12 ,  2H092PA13 ,  2H092QA07 ,  3K007AB06 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007BB07 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007EC03 ,  3K007FA01 ,  3K007FA03 ,  5F110AA01 ,  5F110AA06 ,  5F110AA08 ,  5F110AA09 ,  5F110AA18 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110BB06 ,  5F110BB07 ,  5F110BB08 ,  5F110BB20 ,  5F110CC02 ,  5F110CC08 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD04 ,  5F110DD07 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD17 ,  5F110DD21 ,  5F110EE03 ,  5F110EE06 ,  5F110EE23 ,  5F110EE28 ,  5F110EE30 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF09 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG12 ,  5F110GG13 ,  5F110GG22 ,  5F110GG24 ,  5F110GG25 ,  5F110GG32 ,  5F110GG34 ,  5F110GG42 ,  5F110GG52 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HL06 ,  5F110HL23 ,  5F110HL27 ,  5F110HM15 ,  5F110HM18 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN25 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN40 ,  5F110NN44 ,  5F110NN47 ,  5F110NN73 ,  5F110PP02 ,  5F110PP03 ,  5F110PP10 ,  5F110PP34 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ19