特許
J-GLOBAL ID:200903004468285615

窒化アルミニウム製パッケージ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 須山 佐一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-235577
公開番号(公開出願番号):特開平8-097321
出願日: 1994年09月29日
公開日(公表日): 1996年04月12日
要約:
【要約】【目的】 窒化アルミニウム焼結体からなるパッケージの高熱伝導性を損うことなく、結晶粒の粗大化を抑制して機械的強度を高めることを可能にした窒化アルミニウム製パッケージを提供する。【構成】 3A族元素、Ca、SrおよびBaから選ばれた少なくとも 1種の酸化物を 1〜10質量% の範囲で含有すると共に、Si成分濃度が0.01〜 0.2質量% の範囲である窒化アルミニウム焼結体により構成した窒化アルミニウム製パッケージである。あるいは、上記Si成分含有の窒化アルミニウム焼結体を表層部のみとして用い、内層部は3A族元素、Ca、SrおよびBaから選ばれる少なくとも 1種の酸化物を 1〜10質量% の範囲で含有し、Si成分を実質的に含有しない窒化アルミニウム焼結体により構成した窒化アルミニウム製パッケージである。
請求項(抜粋):
窒化アルミニウム焼結体からなる半導体素子用のパッケージにおいて、前記窒化アルミニウム焼結体は、3A族元素、Ca、SrおよびBaから選ばれた少なくとも 1種の酸化物を 1〜10質量% の範囲で含有すると共に、Si成分濃度が0.01〜 0.2質量% の範囲であることを特徴とする窒化アルミニウム製パッケージ。
引用特許:
出願人引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る