特許
J-GLOBAL ID:200903004470372851
薬液制御機器の内部構造
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山田 強
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-286763
公開番号(公開出願番号):特開2008-101757
出願日: 2006年10月20日
公開日(公表日): 2008年05月01日
要約:
【課題】薬液制御機器内において薬液の流路を形成する複数の部材間に薬液が浸透すること。【解決手段】薬液制御弁10の薬液導入路20及び薬液流出路22は、バルブ26によって連通及び遮断される。すなわち、バルブ26は、通常、ピストンロッド28を介してスプリング30の弾性力が及ぼされるために閉弁されている。これに対し、シリンダ16の側面に形成されているエア導入路32から加圧エアが導入されると、ピストンロッド28がスプリング30の力に打ち勝って変位し、ひいては、バルブ26が開弁する。上記バルブ26は、ボディ14及びシリンダ16間に嵌め込まれている。バルブ26とボディ14との接触面には、薬液との接触角を増大させるための凹凸構造が備えられている。【選択図】 図7
請求項1:
薬液制御機器の内部構造において、
薬液の流路を形成する複数の部材間への前記薬液の浸透を抑制すべく、該複数の部材の中の少なくとも1つの部材の表面部分であって且つ前記複数の部材の接触面を構成する表面部分に凹凸構造を備え、該凹凸構造によって前記薬液と前記表面部分との接触角を増大させたことを特徴とする薬液制御機器の内部構造。
IPC (6件):
F16K 1/00
, F16K 41/10
, F16K 31/163
, F16K 7/16
, H01L 21/304
, H01L 21/306
FI (6件):
F16K1/00 E
, F16K41/10
, F16K31/163
, F16K7/16 C
, H01L21/304 648K
, H01L21/306 J
Fターム (20件):
3H052AA01
, 3H052BA35
, 3H052CA17
, 3H052EA16
, 3H056AA01
, 3H056AA07
, 3H056BB38
, 3H056CA01
, 3H056CB03
, 3H056CB09
, 3H056CD04
, 3H056CE03
, 3H056DD04
, 3H056GG04
, 3H056GG11
, 3H066AA01
, 3H066AA07
, 3H066BA19
, 3H066DA09
, 5F043EE15
引用特許:
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