特許
J-GLOBAL ID：200903004477816585
液冷式リモートプラズマアプリケータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-016833
公開番号（公開出願番号）：特開平9-219295
出願日： 1997年01月30日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：
【要約】【課題】 マイクロ波等のエネルギーをさほど減じずに、アプリケータ等を効率良く冷却する。【解決手段】 動作中に電磁放射を受容する導波路と、導波路を貫通し導波路内の電磁マイクロ波放射により自身の内部を流れるガスが励起されるプラズマチューブと、プラズマチューブの外側の周囲で且つプラズマチューブのうち導波路内部にあり電磁放射に曝露される部分の上をスパイラル状に巻き付けられるクーラントチューブ(冷却液チューブ)と、を備えている。使用中は、プラズマチューブを冷却するよう、クーラントがクーラントチューブ内を循環する。
請求項（抜粋）：
出力ソースに用いるための液冷式プラズマアプリケータであって、動作中に出力ソースから電磁放射を受容する導波路と、前記導波路内を通過し、且つ、前記導波路内の電磁放射により自身の中を流れるガスを励起するように配置されるプラズマチューブと、前記プラズマチューブの外側で、且つ、前記プラズマチューブのうち前記導波路の中に配置されている領域で電磁放射に曝露されている領域の上に、スパイラル状に巻き付けられるクーラントチューブであって、使用の際には前記プラズマチューブを冷却するためクーラントを前記クーラントチューブの中に循環させる、前記クーラントチューブとを備える液冷式プラズマアプリケータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
