特許

J-GLOBAL ID：200903004482500588

微小距離測定装置

発明者： 杉浦 美奈子 ,  福井 達雄 ,  江口 直哉
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 多田 繁範
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-074297
公開番号（公開出願番号）：特開平10-267623
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】例えば磁気ヘッドと磁気記録媒体間のスペースを測定するスペーシング測定装置に適用して、微小距離の測定精度を向上する。【解決手段】本発明は、干渉縞を基準にして微小距離を測定する際に、照明光のスペクトラム強度分布を考慮して光強度の変化を解析する。

請求項（抜粋）：

微小距離隔てられた1対の反射面より得られる干渉光の光強度に基づいて、前記微小距離を測定する微小距離測定装置において、前記反射面を横切る方向の前記光強度の変化を、前記干渉光の生成に使用する照明光のスペクトラム強度分布及び前記微小距離に依存する振幅成分と、前記照明光の波長に対する前記微小距離に応じて変化する周期関数成分との乗算値に対応させて処理して、前記微小距離を測定することを特徴とする微小距離測定装置。