特許

J-GLOBAL ID：200903004485600958

ウェーハの面取り面研磨方法および面取り面研磨装置

発明者： 矢野尾 明仁 ,  足立 仁 ,  樋口 朗
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-249049
公開番号（公開出願番号）：特開平11-090802
出願日： 1997年09月12日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：

【要約】【課題】 ウェーハのノッチ部の内周面全域を良好に研磨できる研磨方法、この方法を実施するための、構造が簡単で装置コストの安い研磨装置を提供する。【解決手段】 この研磨装置は、外周部およびノッチ部に面取りをしたウェーハWを定位置で保持するためのウェーハ保持機構5と、ウェーハWと交差するように配置されて、軸線回りに回転するノッチ部研磨ホイール24と、ノッチ部研磨ホイール24をウェーハWの前記ノッチ部にほぼ一定の圧力で押し付けるために付勢する付勢機構28と、ノッチ部研磨ホイール24および付勢機構28を、ウェーハWのウェーハ面と直交する方向に往復移動させるための往復移動機構と、を備えている。ノッチ部研磨ホイール24をノッチ部の内面に一定の圧力で押圧しつつ、ウェーハ面と直交する方向に往復移動させることにより、ノッチ部研磨ホイール24はノッチ部の内面形状に倣ってウェーハWの径方向に進退する。

請求項（抜粋）：

外周縁部およびノッチ部に面取りをしたウェーハを定位置で保持し、この保持した前記ウェーハのノッチ部に、前記ウェーハと交差するようなノッチ部研磨ホイールの外周部を、所定の圧力で押し付けるために付勢するとともに、前記ノッチ部研磨ホイールをその軸線回りに回転させつつ前記ウェーハのウェーハ面とほぼ直交する方向に往復移動させることを特徴とする、ウェーハの面取り面研磨方法。

IPC (4件)：

B24B 9/00 601 ,  H01L 21/304 301 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B24B 9/00 601 H ,  H01L 21/304 301 B ,  H01L 21/304 321 M ,  H01L 21/304 321 Z