特許

J-GLOBAL ID：200903004490316478

イオンガイド

発明者： 岩永光恭
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-129601
公開番号（公開出願番号）：特開平11-307040
出願日： 1998年04月23日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】イオンガイドを低真空下で使用しても、イオン輸送の効率低下の起こらないイオンガイドを提供する。また、イオンが運動エネルギーを失う現象にも積極的な意義を見出して、それを利用したイオンガイドを提供する。【解決手段】光軸に直交するように配置され、光軸と直接交わる部分にはイオンを通過させるための穴を有し、奇数番目と偶数番目の電極板間では印加電位の規則的な増加・減少を繰り返すような複数の電極板から成るイオンガイドにおいて、隣接する電極板間の電位差を、イオンの入射口側からイオンの出射口側に向けて、徐々に減少させるようにした。また、隣接する電極板間の平均電位をとった場合に、イオンの入射口とイオンの出射口の間の光軸上に、全体として電位勾配を生じるように、前記複数の電極板に電位を印加するようにした。

請求項（抜粋）：

光軸に直交するように配置され、光軸と直接交わる部分にはイオンを通過させるための穴を有し、奇数番目と偶数番目の電極板間では印加電位の規則的な増加・減少を繰り返すような複数の電極板から成るイオンガイドにおいて、隣接する電極板間の電位差を、イオンの入射口側からイオンの出射口側に向けて、徐々に減少させることを特徴とするイオンガイド。

IPC (2件)：

H01J 49/06 ,  H01J 37/04

FI (2件)：

H01J 49/06 ,  H01J 37/04 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-287598
  
• 特開昭62-287598