特許

J-GLOBAL ID：200903004493712307

選択性を操作した金属酸化物センサの製造方法

発明者： ジョン エフ.コンリー,ジュニア ,  ヨシ オノ
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-353291
公開番号（公開出願番号）：特開2007-225596
出願日： 2006年12月27日
公開日（公表日）： 2007年09月06日
要約：

【課題】選択的に感度を向上させた金属酸化物センサを提供すること。【解決手段】本発明は、選択的に感度を向上させた金属酸化物センサの製造するために、該センサ内部にZnOセンサ電極を備えるZnOセンサを形成する工程、および該ZnOセンサ電極をプラズマ流に曝露する工程を包含する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

感度を選択的に向上させた金属酸化物センサの製造方法であって、 金属酸化物センサ、および該金属酸化物センサ内部にセンサ電極を形成する工程;ならびに 該センサ電極をプラズマ流に曝露する工程 を包含することを特徴とする金属酸化物センサの製造方法。

IPC (4件)：

G01N 27/12 ,  C01G 9/02 ,  B82B 3/00 ,  G01N 27/04

FI (5件)：

G01N27/12 M ,  C01G9/02 Z ,  B82B3/00 ,  G01N27/04 Z ,  G01N27/12 C

Fターム (40件)：

2G046AA07 ,  2G046AA09 ,  2G046AA10 ,  2G046AA11 ,  2G046AA13 ,  2G046AA24 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BC05 ,  2G046DC13 ,  2G046EA01 ,  2G046EA04 ,  2G046EA20 ,  2G046FB02 ,  2G046FE15 ,  2G046FE38 ,  2G046FE39 ,  2G046FE48 ,  2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AB05 ,  2G060AB07 ,  2G060AB08 ,  2G060AB10 ,  2G060AB21 ,  2G060AE19 ,  2G060AF08 ,  2G060AG11 ,  2G060BA01 ,  2G060BB09 ,  2G060HC06 ,  2G060HC18 ,  2G060HD03 ,  2G060JA01 ,  2G060JA02 ,  4G047AA02 ,  4G047AB04 ,  4G047AC03 ,  4G047AD01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 米国特許公開公報US2006/0090693 A1(2006年5月4日公開)
  
• 米国特許公開公報US2006/0091499 A1(2006年5月4日公開)