特許

J-GLOBAL ID：200903004498314539

基板用カセット

発明者： 鈴木 幸人 ,  沖林 勝司
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-011468
公開番号（公開出願番号）：特開平8-198405
出願日： 1995年01月27日
公開日（公表日）： 1996年08月06日
要約：

【要約】【目的】 輸送時の振動等により基板用カセットの接触箇所での基板の摩耗、打撃による発塵、欠損及び衝突や急停止の場合でも基板出入口から基板が抜け落ちることを防止し、しかも、カセットを製造装置のローダー台上の決められた位置に手間をかけずに容易に設置する。【構成】 複数の平面状のガラス基板5を収容するカセット本体と、カセット本体の前面にガラス基板5の出し入れを行うための基板出入口8と、基板出入口8から収容される複数のガラス基板5を等間隔に空けて平行にガイドするガイド7部とを備えてなる基板用カセットにおいて、基板出入口8側のカセット本体の下面にカセット本体の前面側を後面側より相対的に高くする突起部13を設ける。

請求項（抜粋）：

複数の平面状の基板を収容するカセット本体と、該カセット本体の前面に基板の出し入れを行うための基板出入口と、該基板出入口から収容される複数の基板を等間隔に空けて平行にガイドするガイド部とを備えてなる基板用カセットにおいて、上記基板出入口側のカセット本体の下面にカセット本体の前面側を後面側より相対的に高くする突起部を設けてなることを特徴とする基板用カセット。

IPC (6件)：

B65G 1/00 537 ,  B65D 85/86 ,  B65G 49/06 ,  B65G 57/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

B65D 85/38 R ,  H01L 21/30 502 J