特許

J-GLOBAL ID：200903004498554068

走査型共焦点光学装置

発明者： 菅 武志
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-335390
公開番号（公開出願番号）：特開2001-154099
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 直視型の高分解能走査型共焦点光学系の構成、及び、その組立・調整法。【解決手段】 被検部7に光を照射するための光源と、被検部7上で光を走査するための走査部2と、走査部2からの光を被検部7上に集光する集光光学系4と、集光光学系4と被検部7の間に配置された保護光学部材6と、被検部7からの戻り光を検出するための光検出部とを具備した共焦点光学装置において、保護光学部材6を集光光学系4の光軸に対して傾けて配置した走査型共焦点光学装置。

請求項（抜粋）：

被検部に光を照射するための光源と、該被検部上で光を走査するための走査部と、該走査部からの光を前記被検部上に集光する集光光学系と、該集光光学系と被検部の間に配置された保護光学部材と、前記被検部からの戻り光を検出するための光検出部とを具備した共焦点光学装置において、前記保護光学部材を前記集光光学系の光軸に対して傾けて配置したことを特徴とする走査型共焦点光学装置。

IPC (2件)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/00 A

Fターム (25件)：

2F065AA51 ,  2F065DD03 ,  2F065EE00 ,  2F065EE08 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065GG22 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL10 ,  2F065LL12 ,  2F065LL19 ,  2F065LL30 ,  2F065LL62 ,  2F065MM16 ,  2F065PP24 ,  2F065UU07 ,  2H052AA07 ,  2H052AA08 ,  2H052AB06 ,  2H052AC15 ,  2H052AC26 ,  2H052AC34