特許

J-GLOBAL ID：200903004506940762

交流カロリメトリによる熱拡散率測定方法及び装置

発明者： 荒木 信幸 ,  楊 軍 ,  唐 大偉 ,  牧野 敦
出願人/特許権者： 真空理工株式会社 ,  荒木 信幸
代理人 (1件)： 北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-022935
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221279
出願日： 1997年02月05日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】 複数層膜や電気的導体膜、半導体膜の厚さ方向の熱拡散率を測定する測定方法及び装置を提供する。【解決手段】 層3の熱拡散率が未知の薄膜試料1が、熱拡散率a2 ,a4 、熱伝導率及び厚さl2 .l4 がそれぞれ既知の、少なくとも1枚の第1及び第2の絶縁薄膜試料21 、22 (層2、層4)で挟まれた層状薄膜試料LAを、一対の試料ホルダ31 、32 (層1、層5)で挟み、第1の絶縁薄膜試料21 と試料ホルダ31 との間に密着して挟み込まれた金属薄膜4に種々の周波数fの一定の交流電力を順次与え、前記層状薄膜試料LAに伝搬する温度波の位相差ΔΦT を第2の絶縁薄膜試料22 と試料ホルダ32 との間に挟まれた金属薄膜5を用いた電気抵抗温度計及びロックイン増幅器により測定し、上記位相差ΔΦt を用いて、ΔΦt =ΔΦ2 +ΔΦ3 +ΔΦ4 と、ΔΦi =-li (πf/ai )1/2 (層i=2,3,4)から未知の薄膜試料の熱拡散率a3 を算出する。

請求項（抜粋）：

熱拡散率が未知の薄膜試料が、熱拡散率、熱伝導率及び厚さがそれぞれ既知の、少なくとも1枚の第1及び第2の絶縁薄膜試料で挟まれた層状薄膜試料を、一対の試料ホルダで挟み、第1の絶縁薄膜試料と試料ホルダとの間に密着して挟み込まれた金属薄膜に種々の周波数fの一定の交流電力を順次与え、前記層状薄膜試料に伝搬する温度波の位相差ΔΦt を第2の絶縁薄膜試料と試料ホルダとの間に挟まれた金属薄膜を用いた電気抵抗温度計及びロックイン増幅器により測定し、 ΔΦt =ΔΦ2 +ΔΦ3 +ΔΦ4 (6) ΔΦi =-li (πf/ai )1/2 (i=2,3,4) (7)但し、ΔΦ2 は、第1の絶縁薄膜試料の温度波の位相差ΔΦ3 は、未知の薄膜試料の温度波の位相差ΔΦ4 は、第2の絶縁薄膜試料の温度波の位相差li は、第1及び第2の絶縁薄膜試料並びに未知の薄膜試料の厚さai は、第1及び第2の絶縁薄膜試料並びに未知の薄膜試料の熱拡散率上記位相差ΔΦt を用いて上記(6)(7)式から未知の薄膜試料の熱拡散率a3 を算出することを特徴とする交流カロリメトリによる熱拡散率測定方法。