特許
J-GLOBAL ID:200903004507026541

ガスバリア性フィルム

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-066022
公開番号(公開出願番号):特開2009-221518
出願日: 2008年03月14日
公開日(公表日): 2009年10月01日
要約:
【課題】 基材フィルムにDLC被膜が被覆されたガスバリア性フィルムにおいて、ガスバリア性を低下させることなく透明性を高める。【解決手段】 基材フィルムの少なくとも一方の面に膜厚が5〜100nmの珪素含有ダイヤモンドライクカーボン膜が形成されたガスバリア性フィルムであって、該珪素含有ダイヤモンドライクカーボン膜の成膜用珪素原料として、少なくともテトラメチルシラン(TMS)を用い、X線光電子分光分析による珪素含有ダイヤモンドライクカーボン膜の構成比(C1s/(C1s+Si2p))が0.01〜0.3の範囲であるとともに、上記ガスバリア性フィルムの黄色度(YI)が2.5〜5.0の範囲であることを特徴とするガスバリア性フィルム。【選択図】 なし
請求項1:
基材フィルムの少なくとも一方の面に膜厚が5〜100nmの珪素含有ダイヤモンドライクカーボン膜が形成されたガスバリア性フィルムであって、該珪素含有ダイヤモンドライクカーボン膜の成膜用珪素原料として、少なくともテトラメチルシラン(TMS)を用い、X線光電子分光分析による珪素含有ダイヤモンドライクカーボン膜の構成比(C1s/C1s+Si2p))が0.01〜0.3の範囲であるとともに、上記ガスバリア性フィルムの着色度(YI)が2.5〜5.0の範囲であることを特徴とするガスバリア性フィルム。
IPC (2件):
C23C 16/27 ,  B32B 9/00
FI (2件):
C23C16/27 ,  B32B9/00 A
Fターム (25件):
4F100AA01B ,  4F100AK25A ,  4F100AK41A ,  4F100AK45A ,  4F100AK54A ,  4F100AK55A ,  4F100AT00A ,  4F100BA02 ,  4F100BA25B ,  4F100EJ38A ,  4F100GB15 ,  4F100HB00 ,  4F100JD02 ,  4F100JD03 ,  4F100JL10 ,  4F100YY00B ,  4K030AA06 ,  4K030AA10 ,  4K030BA28 ,  4K030BA29 ,  4K030BA37 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030FA03 ,  4K030LA24
引用特許:
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (10件)
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