特許
J-GLOBAL ID：200903004512524932
二次元光スキャニング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-087998
公開番号（公開出願番号）：特開平5-257072
出願日： 1992年03月12日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】【目的】 二次元光スキャニング装置の高速化及び小型化を図る。【構成】 スキャニング専用の平面鏡12は第一の軸4を中心にして双方向に回転振動しスキャン光14をY-Z平面に沿って角的に走査する。平面鏡12は同時に第一の軸4に対して傾斜変位しスキャン光14をX-Z平面に沿って角的に走査する。スキャン光14と平行な戻り光15は固定配置された凹面鏡1により反射集光され受光素子9により受光される。球中心点5と受光素子9を結ぶ第三の軸10は常にスキャン光14と平行になる様に設定されている。
請求項（抜粋）：
1個の平面鏡を二次元的に回転振動させて光線をスキャニング投光し標的から反射された散乱光を受光検出する二次元光スキャニング装置において、球面の一部を切り取った形状の反射面を持つ凹面鏡と、球中心点を含み前記凹面鏡と対向した平面上にある球直径を第一の軸とし、該第一の軸の周りを回転振動する第一の振動部材と、該第一の振動部材に固定され、前記球中心点で前記第一の軸に直交する第二の軸を有し、該第二の軸の周りを回転振動する第二の振動部材と、該第二の振動部材に固定され、前記球中心点で前記第二の軸に直交する球半径を第三の軸とし、該第三の軸上において前記球半径の略中点で前記第二の振動部材に取り付けられ、その受光面を前記凹面鏡の方向に向けて設置された受光素子と、前記第一の振動部材と前記第二の振動部材との間に連結して設けられ、前記第二の振動部材の角変位の1/2の角変位を得る変換機構と、該変換機構上に設けられ、前記第一の軸に沿って入射された光線を前記第三の軸に平行に反射する様に設置された平面鏡と、前記第一の振動部材を前記第一の軸を中心にして回転振動駆動する第一の駆動部と、前記第二の振動部材を前記第二の軸を中心にして回転振動駆動する第二の駆動部とからなる事を特徴とする二次元光スキャニング装置。
IPC (4件)：
G02B 26/10
, G02B 26/10 101
, G01N 21/17
, G01S 7/48
