特許
J-GLOBAL ID：200903004515047515

フィルムワークのパターン検査装置

発明者：
林 宏樹

林 宏樹 について

, 
百地 伸元

百地 伸元 について


出願人/特許権者：
ウシオ電機株式会社

ウシオ電機株式会社 について


代理人 (1件)： 五十畑 勉男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-349245
公開番号（公開出願番号）：特開2006-162250
出願日： 2004年12月02日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：
【課題】 長尺状のフィルムワークの幅方向に撮像ユニットを走査し、ワークに形成されたパターンの画像を取得して検査を行なうフィルムワークのパターン検査装置において、フィルムワークに幅方向の湾曲が生じていても、撮像ユニットを湾曲に沿って焦点位置がずれないように走査し、ぼけのないパターン画像を取得する装置を提供すること。【解決手段】 撮像ユニットの近傍に、ワーク表面までの距離を測定する距離センサを設け、撮像ユニットがワークの幅方向に走査移動されているとき、距離センサから距離情報に基づき、撮像ユニットをフィルムワークまでの距離が焦点距離になるように移動させる。フィルムワークを移動させても良い。【選択図】 図3
請求項１：
長尺状のフィルムワークの幅方向に撮像ユニットを走査し、該フィルムワーク上に形成されたパターンの画像を取得して検査するフィルムワークのパターン検査装置において、 上記撮像ユニットは、上記フィルムワークの長手方向に沿って配置されたラインセンサである撮像素子と、該撮像素子に上記フィルムワーク上のパターンを投影する光学素子とからなり、 上記撮像ユニットを上記フィルムワークの幅方向に移動させる走査移動機構と、上記撮像ユニットを撮像ユニットの光軸方向に移動させる光軸方向移動機構と、上記走査移動機構により上記撮像ユニットとともに走査移動しつつ上記フィルムワークまでの距離を測定する距離センサと、上記距離センサからの距離情報に基づき上記光軸方向移動機構を駆動し上記撮像ユニットを上記フィルムワークに対して焦点距離に保つ制御部とを備えたことを特徴とするフィルムワークのパターン検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/892 ,  G01B 11/30
FI (2件)：
G01N21/892 A ,  G01B11/30 A
Fターム (36件)：
2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA49 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065BB23 ,  2F065CC01 ,  2F065CC02 ,  2F065DD10 ,  2F065FF42 ,  2F065GG01 ,  2F065GG21 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM03 ,  2F065MM24 ,  2F065PP02 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ39 ,  2F065RR05 ,  2F065SS04 ,  2G051AA41 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BA06 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CD02 ,  2G051DA06
引用特許：
審査官引用 (7件)
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