光導波回路装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：谷義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-192079
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034925
出願日： 1992年07月20日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、長期信頼性があり、かつ簡便な抵抗値調整が可能な薄膜ヒータを備えた光導波回路装置を提供することにある。【構成】本発明の光導波回路装置は基板1と、該基板上に設けられたコア部2と該コア部2を覆うクラッド層3を有する光導波路と、該光導波路のクラッド層3上に配設され、かつ前記光導波路の一部分の光路長を微調整する薄膜ヒータ4とを含む。前記薄膜ヒータ4はTa2 N膜である。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板上に設けられたコア部と該コア部を覆うクラッド層を有する光導波路と、該光導波路のクラッド層上に配設され、かつ前記光導波路の一部分の光路長を微調整する薄膜ヒータとを含む光導波回路装置において、前記薄膜ヒータはTa2 N膜であることを特徴とする光導波回路装置。

IPC (2件)：

G02F 1/01 , G02B 6/12

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開昭61-241735
特開平1-158413
特開昭61-241735

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