非破壊表面検査方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-082239
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128244
出願日： 1994年03月29日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】非常に小さなきずや表面粗さも測定でき、検査結果がきずの方向に影響されず、装置の感度や拡散光点の大きさの調整や拡散光量の調整も容易で、検査結果の解釈もしやすい、多種類の特定検査が高処理できる非破壊表面検査方法およびその装置を提供すること。【構成】光源、偏光器、入射光を投射する光学システム、光検出器、照射点が螺旋経路に沿って表面全体を走査できるように検査対象を並進運動と回転運動を組み合わせて移動させる手段を備え、検査対象によって拡散された拡散光を、光学軸に近接する狭い角度および光学軸から広い角度で集束させる手段を設けた非破壊表面検査装置とその検査方法。

請求項（抜粋）：

検査対象の表面上および/またはその直下の微粒子、きず、不均一性の測定を行い、光線を生成する光源、偏光器、検査対象に対して垂直に照射点上に入射光を投射する光学システム、集束光が導かれる光検出器を用い、照射点が螺旋経路に沿って表面全体を走査できるように検査対象を並進運動と回転運動を組み合わせて移動させる非破壊表面検査方法において、検査対象によって拡散された拡散光を、光学軸に近接する狭い角度および光学軸から広い角度で集束させることを特徴とする非破壊表面検査方法。

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平4-312393
特開昭63-070152
特開昭63-037245

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