搬送装置およびその搬送装置を有するマルチチャンバ装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：筒井大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-109458
公開番号（公開出願番号）：特開平7-321178
出願日： 1994年05月24日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】マチルチャンバ装置の処理能力を向上して処理のスループットを向上する。【構成】搬送室10とこれの回りに配置された複数の処理室11〜13とを有している。ローダ20からロードロック室14内に搬入された2つの被処理物は、搬送装置30の搬送用ハンド37a,37bにそれぞれ載置される。そして、この搬送装置30によって順次3つの処理室11〜13内に搬入され、それぞれの処理室11〜13で処理が終了した後のそれぞれの被処理物は、搬送装置30によって順次後工程側の処理室内に搬入されるとともに、ロードロック室14を介してローダ20に戻される。それぞれの処理室11〜13は搬送用ハンド37a,37bの数に対応して、2つずつの処理ステージを有している。

請求項（抜粋）：

複数の処理室のそれぞれに対して被処理物を搬送する搬送装置であって、複数の被処理物をそれぞれ別々に支持する複数の支持部を有し、複数の被処理物を同時にそれぞれの処理室に搬送するようにしたことを特徴とする搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07 , C23C 14/56 , H01L 21/02

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平3-274746
特開平4-085812
特開平4-304372

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