特許

J-GLOBAL ID：200903004523479840

フッ酸系エッチング液

発明者： 西沢 学 ,  櫛谷 英樹 ,  中尾 泰昌
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-146898
公開番号（公開出願番号）：特開平6-333912
出願日： 1993年05月26日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【構成】原子重量%表示でBを0.2〜20%、必要に応じてHFを0.1〜65%、NH4 Fを0.1〜60%または酢酸を1〜50%含有するフッ酸系エッチング液。【効果】ガラス表面に生じるヘイズを減らす目的に好適であり、さらに液組成、特にBの量を適切に選択することにより所定のエッチングレートを確保することができる。

請求項（抜粋）：

原子重量%表示でB を0.2 〜20%含有するフッ酸系エッチング液。

IPC (2件)：

H01L 21/308 ,  C09K 13/10