特許

J-GLOBAL ID：200903004534887567

標準ガス調製装置

発明者： 野田 廣 ,  角 心吾
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-095136
公開番号（公開出願番号）：特開平10-274604
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：

【要約】【目的】 ボンベガスを精製空気によって希釈して標準ガスを作製する標準ガス調製装置を、機構が簡便で、安価、かつ高精度にする。【構成】 空気はエアポンプ5により空気精製機構6に送られて精製され、マスフローメータ24を通ってミキサー14に送られる。ボンベガスはガスボンベ10から毛細管11によって流量を調整されながらマスフローメータ26を通ってミキサー14に送られる。このとき精製空気の流量により得られるマスフローメータ24の出力と、ボンベガスの流量により得られるマスフローメータ26の出力が制御機構17に送られ、それらの出力に基づいてエアポンプ5の流量が制御され、目的濃度の標準ガスが作成されて測定装置18に供給される。

請求項（抜粋）：

ボンベガスを精製空気によって希釈して標準ガスを作製する標準ガス調製装置において、ボンベガスの流路には抵抗管と流量を測定するマスフローメータとを備え、精製空気の流路には空気を送るエアポンプと、空気を精製する空気精製機構と、流量を測定するマスフローメータとを備え、前記各マスフローメータからの出力をもとに、ボンベガスの希釈率が一定となるように前記エアポンプのモータの回転速度を制御する制御機構を備えたことを特徴とする標準ガス調製装置。