特許

J-GLOBAL ID：200903004534960817

荷電粒子線試験装置

発明者： 栗原 正行
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-152757
公開番号（公開出願番号）：特開2001-332593
出願日： 2000年05月19日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】現有の鏡筒部の構造はそのままで、更に短いパルス幅Pwのパルスビームが発生可能な荷電粒子線試験装置を提供する。【解決手段】X偏向手段と、Y偏向手段と、アパーチャとを備え、X偏向手段は荷電粒子線試験装置が適用可能な最高スルーレートで上記荷電粒子線をX方向へ偏向し、Y偏向手段は荷電粒子線試験装置が適用可能な最高スルーレートで上記荷電粒子線を上記X偏向手段とは直交するY方向へ偏向し、上記X偏向手段と上記Y偏向手段によるスルーレート期間が重複するように発生させて、上記荷電粒子線を√2倍の速度で偏向させ、上記開口孔を通過する時間を実質的に1/√2倍に短縮させたパルスビームのパルス幅を生成して出力する荷電粒子線試験装置。

請求項（抜粋）：

X偏向手段と、Y偏向手段と、アパーチャとを備えて、連続的に発生される荷電粒子線を該X偏向手段と該Y偏向手段とで偏向して該アパーチャへ照射し、当該アパーチャの中央部に形成されている微細な開口孔を通過した荷電粒子線をパルスビームとして発生する荷電粒子線試験装置において、X偏向手段は荷電粒子線試験装置が適用可能な最高スルーレートで該荷電粒子線をX方向へ偏向し、Y偏向手段は荷電粒子線試験装置が適用可能な最高スルーレートで該荷電粒子線を該X偏向手段とは直交するY方向へ偏向し、該X偏向手段と該Y偏向手段によるスルーレート期間が重複するように発生させて、該荷電粒子線を√2倍の速度で偏向させ、該開口孔を通過する時間を実質的に1/√2倍に短縮させたパルス幅となるパルスビームを生成して出力し、以上を具備していることを特徴とする荷電粒子線試験装置。

IPC (8件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/302 ,  G21K 1/04 ,  G21K 1/087 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/28

FI (8件)：

H01L 21/66 C ,  G01R 1/06 F ,  G21K 1/04 S ,  G21K 1/087 D ,  G21K 5/04 E ,  H01J 37/147 B ,  H01J 37/28 A ,  G01R 31/28 L

Fターム (27件)：

2G011AA01 ,  2G011AC06 ,  2G032AB01 ,  2G032AE04 ,  2G032AE11 ,  2G032AF00 ,  2G032AF07 ,  2G032AF08 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA02 ,  4M106BA14 ,  4M106DE04 ,  4M106DE08 ,  4M106DE09 ,  4M106DE18 ,  5C033FF03 ,  5C033TT02 ,  9A001BB02 ,  9A001BB04 ,  9A001BB05 ,  9A001DD07 ,  9A001JJ45 ,  9A001JJ73 ,  9A001KK37 ,  9A001KK54 ,  9A001LL05