特許

J-GLOBAL ID：200903004536399853

除振装置および露光装置

発明者： 森 太
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-175882
公開番号（公開出願番号）：特開2000-012435
出願日： 1998年06月23日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】 空気バネの推力調節に際して生じる傾きや揺れを抑制可能な除振装置を提供する。【解決手段】 露光本体部40を支える除振台は、除振パッド4A〜4Dとアクチュエータ7A〜7Dとによって上下方向に除振駆動される。制御回路11は、除振台の揺れを検出する加速度センサ5Z1、5Z2、5Z3、5Y1、5Y2、5Xと除振台の変位を検出する変位センサ10Z1、10Z2、10Z3、10Y1、10Y2、10Xとから出力される信号に基づいて除振パッド4A〜4Dおよびアクチュエータ7A〜7Dを制御する。制御回路11を構成する空圧制御部60は除振パッド4A〜4Dで発生する推力を制御する際に、減算器46dおよび46eから出力される除振台変位(揺れ)量に関する信号が上限値を越すのを検知すると空圧制御ユニット37の弁を一旦閉じて除振台の変位を減じる。

請求項（抜粋）：

床面に対し、空気バネを介して支持された除振台と、前記空気バネへ空圧を供給するための空圧源と、前記空気バネと前記空圧源とを連通する管路と、前記管路に配設され、前記空圧源と前記空気バネとの間を連通する開状態、または遮断する閉状態に切り換える弁開閉手段と、前記空気バネと並列に配設され、前記除振台を前記空気バネの支持方向と略同一の方向に駆動可能なアクチュエータと、前記除振台の変位を検出する変位センサと、少なくとも前記変位センサからの出力に基づいて前記除振台の振動を抑制するように前記アクチュエータを駆動制御するとともに、前記弁開閉手段を開閉駆動して前記空気バネの推力を調節し、前記アクチュエータの負荷を低減させるように駆動制御する除振台制御系とを有する除振装置において、前記変位センサで検出される前記除振台の変位量に上限値を設け、前記弁開閉手段を前記閉状態から前記開状態に切り換えた後、前記除振台の変位量が前記上限値を越したときに前記弁開閉手段を前記開状態から前記閉状態に切り換えることを特徴とする除振装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  F16F 15/02 ,  G03F 7/20 521 ,  G05D 19/02

FI (4件)：

H01L 21/30 503 F ,  F16F 15/02 A ,  G03F 7/20 521 ,  G05D 19/02 D

Fターム (18件)：

3J048AA02 ,  3J048AB08 ,  3J048AB11 ,  3J048AD14 ,  3J048BE02 ,  3J048CB06 ,  3J048CB13 ,  3J048DA01 ,  3J048EA13 ,  5F046AA23 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC06 ,  5F046CC16 ,  5F046DA14