特許
J-GLOBAL ID:200903004542491729
流体加熱器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
橋爪 良彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-168738
公開番号(公開出願番号):特開平5-231712
出願日: 1991年06月13日
公開日(公表日): 1993年09月07日
要約:
【要約】【目的】 輻射光によって被加熱流体を共振加熱する流体加熱器であって、半導体デバイスの製造工程におけるシリコン等のウエハーの洗浄液、エッチング液、レジスト剥離液の加熱および温度制御並びにフライヤーでの食品用油の加熱及び温度制御等、被加熱流体を流しながら、その加熱及び温度制御を好適に行える流体加熱器を提供すること。【構成】 管壁に流体の流入部及び流出部を有し、両端が開放された第1の中空管内部に、両端が開放された透明な第2の中空管を、前記第1の中空管の内壁との間に空間を有して配し、前記第2の中空管内部に、その内壁との間に空間を有して光源を配し、支持部材によって該光源の両端部を前記第2の中空管内部に支持する。
請求項(抜粋):
電気ヒータ2の外周に流体加熱管1を配設し、さらにこの流体加熱管1の外周に内向き反射部材5を配設し、前記流体加熱管1は透明部材である構成を特徴とする流体加熱器。
IPC (4件):
F24H 1/10
, F16L 53/00
, H05B 3/40
, H05B 3/44
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開昭61-116246
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特開昭63-075439
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