特許

J-GLOBAL ID：200903004549552120

表面検査装置

発明者： 大重 貴彦 ,  上杉 満昭
出願人/特許権者： JFEスチール株式会社
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-320593
公開番号（公開出願番号）：特開2004-156932
出願日： 2002年11月05日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：

【課題】点状の疵、被検査体の幅方向に長い疵、被検査体の長さ方向に長い疵のいずれをも検出できる装置を提供する。【解決手段】検出ヘッド3中には、光源4が設けられ、鋼板1の表面に、可視域の波長の平行光を入射角θが90度近くの大きな角度で照射している。この平行光は、ミラー5で反射された後、前記の入射角で鋼板1の表面を照射する。鋼板1の表面で反射された光は、半透明のスクリーン6上に像を結ぶ。その像をスクリーン6の背面から2次元カメラ7で撮像し、信号処理装置8で画像処理を行うことにより凹凸性疵を検出する。平行光の入射角度は、鋼板1の長さ方向、幅方向の中間位置とされ、検出の対象となる前記微小凹凸疵の前記幅方向に沿った方向の形状、前記長手方向に沿った方向の形状、及び被検査体の形状から決定される【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被検査体の表面に、波長に対する入射角の余弦の比の値が前記被検査面の表面粗さから決定される所定の値以下となるような光を、被検査体の幅方向に沿った方向と長手方向に沿った方向の中間の方向から照射する光源と、被検査体の表面により反射された光を検出する検出系とを有し、反射された光量の変化から微小凹凸疵を検出する表面検査装置であって、前記被検査体の幅方向に沿った方向と長手方向に沿った方向の中間の方向は、検出の対象となる前記微小凹凸疵の前記幅方向に沿った方向の形状、前記長手方向に沿った方向の形状、及び被検査体の形状から決定されることを特徴とする表面検査装置。

IPC (1件)：

G01N21/892

FI (1件)：

G01N21/892 B

Fターム (11件)：

2G051AA37 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051BC02 ,  2G051CA04 ,  2G051CC09 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  2G051ED08