特許

J-GLOBAL ID：200903004549625461

光電センサ

発明者： 藤井 隆志
出願人/特許権者： サンクス株式会社
代理人 (1件)： 後呂 和男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-126298
公開番号（公開出願番号）：特開2003-318718
出願日： 2002年04月26日
公開日（公表日）： 2003年11月07日
要約：

【要約】【課題】 確実に閾値設定を行なうことができ、かつ、その作業性を向上させることができる光電センサを提供することを目的とする。【解決手段】 ウエハ70が光軸に到達する前から光軸を通過するまでの間受光部21からの受光信号をCPU22に取り込んで受光レベルとしてコンピュータ装置4に送る。すると、コンピュータ装置4は受光レベルの時間変化のグラフをディスプレイ42上に表示すると共に、同一グラフ上に閾値を表示する。そして、コンピュータ装置4で閾値の変更を行なうと、変更された閾値がメモリ22Aに設定される。

請求項（抜粋）：

光を投光する投光部と、この投光部から投光された光を受光する受光部とを対向配置して光軸を構成し、この光軸を横切るように移動するウエハの存在を検出するものであって、検出手段により基準レベル設定手段にて設定されている基準レベルと前記受光部からの受光信号のレベルとを比較してウエハの存在を検出する光電センサにおいて、前記ウエハが前記光軸に到達する前から前記光軸を通過した後までの間前記受光部からの受光信号を取り込むサンプリング手段と、ディスプレイを備えそのディスプレイに前記受光信号をそのレベルの時間的変化を基準レベルと共にグラフ表示し、前記ディスプレイに表示されている基準レベルの前記グラフ表示に対する相対的位置を変更及び決定可能とした基準レベル外部設定装置に接続可能であって、前記基準レベル外部設定装置に前記サンプリング手段によって取り込んだ受光信号を出力すると共に、前記基準レベル外部設定装置において決定操作が行なわれたときに、その時点で表示されている基準レベルの値を前記基準レベル設定手段に再設定するための基準レベル設定信号を取りこむ入出力手段とを設けたことを特徴とする光電センサ。

IPC (3件)：

H03K 17/78 ,  G01J 1/42 ,  G01V 8/12

FI (3件)：

H03K 17/78 B ,  G01J 1/42 N ,  G01V 9/04 J

Fターム (17件)：

2G065BA01 ,  2G065BC14 ,  2G065BC33 ,  2G065BC35 ,  2G065BC40 ,  2G065BD03 ,  2G065CA07 ,  2G065DA15 ,  2G065DA20 ,  5J050AA35 ,  5J050AA37 ,  5J050AA44 ,  5J050BB16 ,  5J050EE31 ,  5J050EE39 ,  5J050FF02 ,  5J050FF08

引用特許：

審査官引用 (1件)

• センサ装置およびその表示方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-332351   出願人：オムロン株式会社