特許
J-GLOBAL ID：200903004551604668
プローブカード
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
大西 孝治
, 大西 正夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-071505
公開番号（公開出願番号）：特開2005-257558
出願日： 2004年03月12日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：
【目的】 本発明の目的は、高集積化された測定対象に対応することができるプローブカードを提供する。【構成】 プローブカードAは、測定対象Bの図外の測定装置のセンシング部分であって、測定装置のプローバに保持され、これにより測定対象Bと対向配置される支持基板100と、この支持基板100の表面上に形成される半円弧状の複数のプローブ200と、支持基板100のプローブ配設面に設けられ、当該支持基板100のプローブ配設面とプローブ200の頂部の反対面との間に位置する当接部材300とを具備する。当接部材300とプローブ200の支持基板対向面との間には所定の空隙を有する。【選択図】 図1
請求項１：
支持基板と、この支持基板に設けられた上下方向に弾性変形可能な部材であり且つ当該支持基板の面方向に向けて湾曲した第1の湾曲部を有する片持ち状のプローブと、前記支持基板のプローブ配設面に設けられ、当該支持基板のプローブ配設面と前記プローブの支持基板対向面との間に位置する当接部材とを具備しており、この当接部材と前記プローブの支持基板対向面との間には所定の空隙を有することを特徴とするプローブカード。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R1/073 E
, G01R31/26 J
2G003AA00
, 2G003AG03
, 2G003AG04
, 2G003AG12
, 2G011AA03
, 2G011AA04
, 2G011AA17
, 2G011AA21
, 2G011AB01
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 2G011AE22
, 2G011AF07
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
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