特許
J-GLOBAL ID：200903004572029558
アライメント方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-088077
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275488
出願日： 1993年03月23日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、複数層の下地層のそれぞれで形成した各アライメントパターンに対して、合わせずれ量を最小限にして、マスクのアライメントパターンを合わせる。【構成】 複数の下地層で形成したアライメントパターン11,21の変位位置A,Bを検出して、アライメントの対象になる各検出したアライメントパターン11,21の変位位置A,Bに基づいて仮想のアライメントパターン41の位置を決定する。そして、仮想のアライメントパターン41にマスクのアライメントパターン31を合わせる。または上記仮想のアライメントパターン41の位置は、検出したアライメントパターン11,21の変位位置A,Bに重み付け係数κA ,κB を乗じ、重み付け係数κA ,κB を乗じた各変位位置に基づいて決定してもよい。
請求項１：
複数の下地層で形成したアライメントパターンに対して露光装置のマスクのアライメントパターンを合わせるアライメント方法において、前記複数の下地層で形成したアライメントパターンの変位位置を検出し、アライメントの対象になる前記各検出したアライメントパターンの変位位置に基づいて仮想のアライメントパターンの位置を決定した後、前記仮想のアライメントパターンに前記マスクのアライメントパターンを合わせることを特徴とするアライメント方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03B 27/32
, G03F 9/00
