特許
J-GLOBAL ID:200903004577275085

分光測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 森本 義弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-317646
公開番号(公開出願番号):特開平6-167390
出願日: 1992年11月27日
公開日(公表日): 1994年06月14日
要約:
【要約】【目的】回折格子分光測定器において、高次回折光の混入を除去した高精度かつ効率的な分光測定を実現する。【構成】波長λ1 からλ2 のみの範囲に分光エネルギーを持つ、分光分布の値の付いた標準光源を使って、波長2λ1 から2λ2 または3λ1 の範囲で検出される標準光源の波長λ1 からλ2 の分光エネルギーの2次回折光を測定し、波長λ1 からλ2 の分光エネルギーの2次回折光の波長2λ1 から2λ2 または3λ1の範囲での混入率を求め、分光分布を測定しようとする光源に対する分光出力を求め、その出力から先に求めた2次回折光の波長2λ1 から2λ2 または3λ1の範囲での混入率を使って、2次回折光成分を解析的に除去する。
請求項(抜粋):
波長λ1 からλ2 のみの範囲に分光エネルギーを持つ、分光分布の値の付いた標準光源を使って、波長2λ1 から3λ1 の範囲で検出される前記の標準光源の波長λ1 からλ2 の分光エネルギーの2次回折光を測定し、波長λ1 からλ2 の分光エネルギーの2次回折光の波長2λ1 から3λ1 の範囲での混入率を求め、分光分布を測定しようとする光源に対する分光出力を求め、その出力から先に求めた2次回折光の波長2λ1 から3λ1 の範囲での混入率を使って、2次回折光成分を解析的に除去する分光測定方法。

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