特許

J-GLOBAL ID：200903004587005736

合成石英ガラス部材の製造方法

発明者： 滝田 政俊 ,  沢田 勝也 ,  代田 和雄 ,  大塚 久利
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-160346
公開番号（公開出願番号）：特開平5-330830
出願日： 1992年05月27日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は回収再使用することができるし、シラン化合物の火炎加水分解で発生した合成シリカ微粒子を効率よく堆積し得るにした出発物質を用いて合成石英ガラス部材を製造する方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明による合成石英ガラス部材の製造方法は、シラン化合物の火炎加水分解で発生した合成シリカ微粒子を回転しており、垂直に保持されている出発物質の先端部に付着、堆積させ、この出発物質を順次引上げて合成シリカ母材を作り、ついでこれを加熱、焼結し透明ガラス化して合成石英ガラス部材を製造する方法において、該出発物質が耐熱性材料からなり、先端部の形状、容積が大きくされた棒状体からなるものとしてなることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

シラン化合物の火炎加水分解で発生した合成シリカ微粒子を回転しており、垂直に保持されている出発物質の先端部に付着、堆積させ、この出発物質を順次引上げて合成シリカ母材を作り、ついでこれを加熱、焼結し透明ガラス化して合成石英ガラス部材を製造する方法において、該出発物質が耐熱性材料からなり、先端部の形状、容積が大きくされた棒状体からなるものとしてなることを特徴とする合成石英ガラス部材の製造方法。

IPC (2件)：

C03B 8/04 ,  C03B 20/00