特許
J-GLOBAL ID：200903004603130180

セルロースバインダ由来の速エッチング性かつ熱硬化性の非反射コーティング

発明者：
シャオー クシー

シャオー クシー について

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メアドール ジム ディー.

メアドール ジム ディー. について

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ブルーワー テリー ローウェル

ブルーワー テリー ローウェル について


出願人/特許権者：
ブルーワー サイエンス アイ エヌ シー.

ブルーワー サイエンス アイ エヌ シー. について


代理人 (1件)： 渡辺 望稔 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-546280
公開番号（公開出願番号）：特表2002-513172
出願日： 1999年04月20日
公開日（公表日）： 2002年05月08日
要約：
【要約】非反射性組成物がセルロースバインダおよび、メラミン、尿素、ベンゾグアナミンまたはグリコルリルに由来するアルキル化されたアミノ樹脂架橋剤から調製される。これらの組成物は、多層フォトレジスト工程に用いられる場合、下層非反射層を形成するために用いられ、高いプラズマエッチング選択性を示す。
請求項（抜粋）：
下記成分を含有する、改良された非反射コーティング組成物: a)セルロースエステルおよびセルロースエーテルからなる群より選ばれる溶媒可溶性セルロースバインダ; b)メラニン、尿素、ベンゾグアナミン、またはグリコルリルに由来する、アルキル化されたアミノ樹脂架橋剤; c)酸触媒または加熱下で触媒作用により活性酸性化学種を発生させる潜在性酸触媒;および d)アミノ樹脂およびセルロースバインダに対する高い溶解性と、マイクロリソグラフ工程において、0.05から0.20ミクロンのコーティング厚で、良好で、欠陥のないコーティングの品質およびフィーチャ適用範囲を得るために十分な、表面濡れおよび蒸発特性とを有する溶媒ビヒクル。
IPC (8件)：
G03F 7/11 503 ,  C08B 15/06 ,  C08L 1/10 ,  C08L 1/26 ,  C08L 61/32 ,  C09D 5/00 ,  C09D101/08 ,  C09D161/20
FI (8件)：
G03F 7/11 503 ,  C08B 15/06 ,  C08L 1/10 ,  C08L 1/26 ,  C08L 61/32 ,  C09D 5/00 Z ,  C09D101/08 ,  C09D161/20
Fターム (39件)：
2H025AA00 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025DA34 ,  4C090AA06 ,  4C090BA25 ,  4C090BA26 ,  4C090DA31 ,  4J002AB021 ,  4J002AB031 ,  4J002CC132 ,  4J002CC182 ,  4J002CC192 ,  4J002CC212 ,  4J002DH026 ,  4J002EF036 ,  4J002EF116 ,  4J002EV236 ,  4J002FD097 ,  4J002FD142 ,  4J002GH01 ,  4J038BA041 ,  4J038BA051 ,  4J038BA061 ,  4J038BA091 ,  4J038DA142 ,  4J038DA162 ,  4J038DA172 ,  4J038DD132 ,  4J038HA416 ,  4J038JA37 ,  4J038JC13 ,  4J038KA03 ,  4J038KA04 ,  4J038KA06 ,  4J038KA08 ,  4J038NA19 ,  4J038PB09 ,  4J038PC03
引用特許：
審査官引用 (2件)

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