特許
J-GLOBAL ID：200903004607806129
ガス質量流量制御器
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-287851
公開番号（公開出願番号）：特開平6-138951
出願日： 1992年10月26日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：
【要約】【目的】 高精度で、応答が高速であるガス質量流量制御器。【構成】 層流エレメント20の上流に熱交換器12を設け、流通ガスの温度を一定にする。また、層流エレメント20および差圧センサ22を恒温槽34内に収容し、正確な差圧の検出を行う。さらに開度調節弁30を制御して層流エレメント20のガス圧力を一定に維持する。これによって、差圧センサ22において、正確で、高速応答の質量流量の検出を行う。そして、検出された質量流量に応じて、サーボバルブ2の開度を制御することによって、ガスの質量流量を正確に制御することができる。
請求項（抜粋）：
被測定ガスを流通せしめるパイプと、このパイプ内に流通するガスの温度を計測する温度センサと、この温度センサの検出温度に応じて制御され、パイプ内に流通するガスの温度を一定に保持する熱交換器と、この熱交換器から流出するガスの流れを所定の層流にすることにより、流量に比例した圧力降下に変換する層流エレメントと、この層流エレメントの上流側と下流側との圧力差を検出する差圧センサとを含み、パイプ内に流通するガスの体積流量を計測する層流流量計と、この層流流量計におけるガスの圧力を計測する圧力計と、この圧力計の測定値に応じて制御され、パイプ内のガスの圧力を一定に保持する開度調節弁と、パイプ内のガスの流量を制御するサーボバルブ、サーボバルブを駆動するバルブドライバー及び層流流量計の出力と流量指令値との偏差に基づいてバルブ開度の加減をバルブドライバーに指令する偏差増幅器と、を有し、層流流量計の計測値に基づいてパイプ内に流通するガスの質量流量を、サーボバルブにより制御することを特徴とするガス質量流量制御器。
IPC (2件)：
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