特許
J-GLOBAL ID：200903004609816008
真空ポンプ
出願人/特許権者：
セイコー精機株式会社
セイコー精機株式会社 について
代理人 (1件)： 和田 成則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-087204
公開番号（公開出願番号）：特開平8-284877
出願日： 1995年04月12日
公開日（公表日）： 1996年10月29日
要約：
【要約】【目的】 広範な圧力帯域で効率よく排気することができ、構造も簡単な真空ポンプを提供する。【構成】 ターボ分子ポンプ部3とねじ溝ポンプ部2との間にすべり機構として磁気カップリング部9を設ける。磁気カップリング部9は第1および第2の磁石体900,901から構成し、その吸引力によりターボ分子ポンプ部3とねじ溝ポンプ部2を磁気的に非接触に接合する。接合力(吸引力)を上回る過大な負荷がターボ分子ポンプ部3に作用する場合は、両ポンプ部2,3間に当該負荷に応じたすべりが生じ、ねじ溝ポンプ部2のみが回転し、過大な負荷を受けながらターボ分子ポンプ部3が回転し続ける不具合(回転数の低下や発熱)を防止するものとする。
請求項（抜粋）：
一定の圧力帯域で回転によるガスの排気を行うとともに、その排気のための翼部またはねじ部を備えてなる第1の回転ポンプ部と、上記第1の回転ポンプ部とは異なる圧力帯域で回転によるガスの排気を行うとともに、その排気のための翼部またはねじ部を備えてなる第2の回転ポンプ部とを有し、第1の回転ポンプ部と第2の回転ポンプ部を、ポンプ部に作用する負荷に基づきすべりが生ずるすべり機構を介して接合したことを特徴とする真空ポンプ。
FI (2件)：
引用特許：
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