濾過部材の固定方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：苗村正 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-223301
公開番号（公開出願番号）：特開2002-136820
出願日： 1994年08月09日
公開日（公表日）： 2002年05月14日
要約：

【要約】【課題】半導体製造分野で使用される特にプロセスガス中の微小パーティクルを除去するプロセスガス用濾過部材の改良に関するものであって、ロウ付け加工の採用と例えば配管の継手部内にも直接装着できるコンパクト化とによって、濾過特性に優れながらも従来のような太径のハウジング部材との併用を無くすることを可能として、配管密度の向上を図るとともに、これまで使用時に必要とされてきた高圧ガス容器としての許認可問題を解消し得る濾過部材に関係するものである。【解決手段】微小パーティクルを捕捉する金属焼結フィルターと、この金属焼結フィルターを保持するメタルガスケットとを、アモルファス箔のロウ材箔を用いてロウ付け結合することにより一体化する。

請求項（抜粋）：

微小パーティクルを捕捉する金属焼結フィルターと、この金属焼結フィルターを保持するメタルガスケットとを、アモルファス箔のロウ材箔を用いてロウ付け結合することにより一体化することを特徴とする濾過部材の固定方法。

IPC (7件)：

B01D 46/24 , B01D 39/00 , B01D 39/20 , B22F 3/11 , B23K 1/00 330 , B23K 1/14 , B23K 1/19

FI (7件)：

B01D 46/24 B , B01D 39/00 B , B01D 39/20 A , B22F 3/11 Z , B23K 1/00 330 N , B23K 1/14 C , B23K 1/19 C

Fターム (18件)：

4D019AA01 , 4D019BA02 , 4D019BB06 , 4D019BC12 , 4D019CA03 , 4D019CB01 , 4D019CB04 , 4D019CB10 , 4D058JA12 , 4D058JB03 , 4D058JB28 , 4D058KA13 , 4D058KA23 , 4D058KA25 , 4D058KA29 , 4D058SA04 , 4K018GA06 , 4K018KA22

引用特許：

審査官引用 (4件)

多孔体結合部材、それを用いるフィルター装置、および多孔体結合部材の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-148174 出願人：日本精線株式会社
特開昭62-220270
特開平4-019476

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