特許
J-GLOBAL ID：200903004613810634

微小電気機械素子の駆動方法及び微小電気機械素子アレイ

発明者：
荻窪 真也

荻窪 真也 について

, 
中村 博親

中村 博親 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  矢澤 清純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-219236
公開番号（公開出願番号）：特開2007-034054
出願日： 2005年07月28日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：
【課題】 低電圧、低消費電力であり、且つ遷移終期の可動ミラーの振動が防止されて高速サイクルでの作動を可能とする微小電気機械素子の駆動方法及び微小電気機械素子アレイを提供する。【解決手段】 可動部27を一方の定位点Y1に変位させて弾性部29に弾性エネルギを蓄えた後、駆動源28、35a、35bからの物理作用力により一方の定位点Y1に保持する。そして、駆動源28、35a、35bからの物理作用力を制止して弾性エネルギを解放することにより、弾性部29に上記と逆極性の弾性エネルギを再度蓄えながら可動部27を他方の定位点Y2に変位させ、物理作用力により他方の定位点Y2に保持する。これにより、可動部27は、外部からの物理作用力によらず、弾性部29に蓄えられた弾性エネルギのみにより変位する。【選択図】 図6
請求項１：
弾性変形により弾性エネルギを蓄える弾性部と、該弾性部に支持された可動部と、前記可動部を保持するための物理作用力を加える駆動源とを備え、前記可動部の変位先となる複数の定位点のうち、いずれかの定位点へ前記可動部を変位させる微小電気機械素子の駆動方法であって、 前記可動部を一方の定位点に変位させて前記弾性部に弾性エネルギを蓄えた後、前記駆動源からの物理作用力を制止すると共に前記弾性部に蓄えられた弾性エネルギを解放することで前記弾性部に先の弾性エネルギとは逆の極性の弾性エネルギを再度蓄えながら前記可動部を他方の定位点に変位させることを特徴とする微小電気機械素子の駆動方法。
IPC (3件)：
G09G 3/34 ,  B81B 3/00 ,  G09G 3/20
FI (5件)：
G09G3/34 D ,  B81B3/00 ,  G09G3/20 611A ,  G09G3/20 621A ,  G09G3/20 621F
Fターム (8件)：
5C080AA17 ,  5C080BB05 ,  5C080DD08 ,  5C080DD26 ,  5C080JJ02 ,  5C080JJ04 ,  5C080JJ05 ,  5C080JJ06
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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