特許
J-GLOBAL ID：200903004615973352
セラミックグリーンシートの取扱方法および取扱装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小柴 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-061624
公開番号（公開出願番号）：特開2002-254421
出願日： 2001年03月06日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：
【要約】【課題】 定盤上に位置決めされたセラミックグリーンシートを、真空吸引に基づき、吸着ヘッドにより吸着しながらキャリアフィルムから確実に剥離できるようにする。【解決手段】 吸着ヘッド12として、吸引穴13の特定のものに連通し、かつ各吸引穴13の径より大きい開口を吸着面14上に位置させている吸引溝15を備えるものを用い、吸着ヘッド12がセラミックグリーンシート7を吸着したとき、セラミックグリーンシート7における吸引溝15の開口に対向する部分を、吸引溝15の内部に向かって膨出させ、それによって、キャリアフィルム2から局所的に剥離した部分をセラミックグリーンシート7に形成し、以後の剥離工程において、この局所的剥離部分からセラミックグリーンシート7の全領域に剥離が順調かつ迅速に及ぼされるようにする。
請求項（抜粋）：
定盤上に、キャリアフィルムによって裏打ちされたマザーセラミックグリーンシートを位置決めする、位置決め工程と、前記定盤に対してカット刃を近接させることによって、前記マザーセラミックグリーンシートから所定の寸法を有するセラミックグリーンシートを切り出す、切り出し工程と、その吸着面にそれぞれ負圧が与えられる複数の吸引穴を分布させている吸着ヘッドを、切り出された前記セラミックグリーンシートに近接させることによって、前記セラミックグリーンシートを前記吸着面上に吸着する、吸着工程と、次いで、前記吸着ヘッドを前記定盤から離隔させることによって、前記セラミックグリーンシートを、前記キャリアフィルムから剥離するとともに、前記吸着ヘッドによって保持した状態とする、剥離および保持工程とを備える、セラミックグリーンシートの取扱方法であって、前記吸着ヘッドとして、前記吸引穴の特定のものに連通し、かつ各前記吸引穴の径より大きい開口を前記吸着面上に位置させている吸引溝を備えるものを用い、前記吸着工程は、前記セラミックグリーンシートにおける前記吸引溝の開口に対向する部分を、前記吸引溝の内部に向かって膨出させ、それによって、前記キャリアフィルムから局所的に剥離した部分を前記セラミックグリーンシートに形成する、局所剥離工程を備えることを特徴とする、セラミックグリーンシートの取扱方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
4G055AA08
, 4G055AC01
, 4G055BB12
, 4G055CB01
, 4G055CC14
