特許

J-GLOBAL ID：200903004620822702

超微結晶シリコン発光材料、その製造方法、超微結晶シリコン発光材料を用いた素子およびその製造方法

発明者： 趙 新為 ,  オルフ シュエンフェルド ,  青柳 克信 ,  菅野 卓雄
出願人/特許権者： 理化学研究所
代理人 (1件)： 上島 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054890
公開番号（公開出願番号）：特開平7-237995
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：

【要約】【目的】室温において青色発光するとともに、発光波長を容易に制御することができ、さらに素子の機能に応じた膜厚や形状などのサイズの制御を容易に行うことができるようにした超微結晶シリコン発光材料、その製造方法、超微結晶シリコン発光材料を用いた素子およびその製造方法を提供する。【構成】超微結晶シリコン発光材料は、平均粒径サイズが約7.5nm以下の極めて微小な超微結晶シリコンにより構成され、超微結晶シリコン間の境界に不純物や格子欠陥などを含まないようにした。

請求項（抜粋）：

平均粒径サイズが極めて微小な超微結晶シリコンを有して構成され、室温において安定的に強い青色発光することを特徴とする超微結晶シリコン発光材料。

IPC (6件)：

C30B 28/12 ,  C30B 29/06 504 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/203 ,  H01L 33/00 ,  H01S 3/18