特許
J-GLOBAL ID：200903004621456980
物体観察装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶原 康稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-323891
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145308
出願日： 1995年11月17日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 物体の振幅分布に不感であって、微分位相像あるいは絶対位相像のみを観察する。【解決手段】 照明光i00は、ポラライザ10,1/4波長板12によって所定の位相差が与えられた直交する2つの直線偏光成分の光は、ノマルスキープリズム14によってシャーしコンデンサレンズ16に入射する。シャーした照明光EO,OEは、物体面S上の物体を透過し、対物レンズ18,ノマルスキープリズム20を透過して1つの照明光に合成され、アナライザ22に入射する。アナライザ22を透過した可干渉な照明光i1による像と、反射された可干渉な照明光i2による像から差画像が演算される。この差画像を異なる位相差で得るとともに、差画像比を演算すると、物体の振幅成分を含まない微分位相量のみの像が得られる。
請求項（抜粋）：
物体を照明するための光を供給する照明手段;これによって供給された光のうち、直交する第1及び第2の偏光方向の光の位相差を任意に調整するための位相差調整手段;これによって位相差が調整された第1の偏光方向の光と第2の偏光方向の光の光軸を相対的にシャーして観察対象の物体に照射する光分離手段;物体を透過又は反射した前記第1の偏光方向の光と第2の偏光方向の光を合成する光合成手段;この光合成手段から供給された光による画像を得るための撮像手段;前記位相差調整手段によって第1,第2,第3,第4の異なる位相差を与えたときに前記撮像手段でそれぞれ得られた第1,第2,第3,第4の画像を格納するための画像格納手段;これに格納された画像のうち、位相差の差がπの整数倍となる画像間で信号強度の差を求めて、第1及び第2の差画像を得るための差画像生成手段;これによって得られた差画像の比を算出するための差画像比算出手段;これによって算出された差画像比に基づいて物体の位相差分像を得るための位相差分算出手段;を備えたことを特徴とする物体観察装置。
IPC (4件)：
G01B 9/02
, G01B 9/04
, G01N 21/41
, G02B 21/00
G01B 9/02
, G01B 9/04
, G01N 21/41 Z
, G02B 21/00
