特許
J-GLOBAL ID：200903004626152717
アルカリ可溶性感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
藤本 博光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-325508
公開番号（公開出願番号）：特開平10-161315
出願日： 1996年12月05日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】 耐熱性、耐酸素プラズマ性、段差被覆性、電気絶縁性、ビアホール導通性、および耐クラック性に優れ、アルカリ水溶液による現像(リンス)が可能なレジスト樹脂組成物を得る。【解決手段】 (メタ)アクリロキシ基含有ラダー型ポリオルガノシルセスキオキサンとカルボキシル基含有(メタ)アクリレート化合物と(メタ)アクリレート化合物及び光重合開始剤を必須成分として含有してなるアルカリ可溶性感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
必須成分として、(A)下記一般式(I)【化1】(式中、R1は炭素数が1〜4のアルキル基,アリール基または炭素数 5 以上の脂環式を含む1価の非置換、置換炭化水素基のいずれかであり、R1は同種でもよく、異種でもよい。R2は下記一般式(II)で示される(メタ)アクリロキシ結合を少なくとも1つ含む基である。R3はR1またはR2が示すものと同一の基であり、l,mは重合度を示し1以上の整数である。)【化2】(式中、R4は水素原子またはメチル基、R5は炭素数1〜18の非置換又は置換のn+1価相当の炭化水素基を示し、nは1〜3の整数である。)で示される光又は熱により架橋結合を形成する(メタ)アクリロキシ官能性ラダー型ポリオルガノシルセスキオキサン、(B)下記一般式(III)【化3】(式中R6は水素原子またはメチル基であり、R7は少なくとも1つのカルボキシル基を含有する多価有機基であり、kは1〜4の整数である。)で示されるアルカリ水溶液可溶性のカルボキシル基含有多官能(メタ)アクリレートモノマーもしくはそのオリゴマー、或いはカルボキシル基を有する(メタ)アクリル酸エステル共重合体、(C)(メタ)アクリル酸エステル或いは多官能価(メタ)アクリル酸エステルのモノマーまたはオリゴマー、および(D)光重合開始剤、を含有することを特徴とするアルカリ可溶性感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/075 521
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/033
, H01L 21/027
G03F 7/075 521
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/033
, H01L 21/30 502 R
