特許
J-GLOBAL ID：200903004637611799
光走査型デバイス
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-039114
公開番号（公開出願番号）：特開平8-213580
出願日： 1995年02月04日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【目的】 構造が簡単、かつ安定に動作する安価な光走査型デバイスを提供すること。【構成】 ダイオード特性を示す半導体基板1の一方の面にMIS構造のセンシング部2を形成するとともに、前記半導体基板1の他方の面に前記センシング部2に対応するように固体光放射部3を複合構造または一体構造で設け、この固体光放射部3によって前記センシング部2にプローブ用の光Lを適宜照射するように構成した。
請求項（抜粋）：
ダイオード特性を示す半導体基板の一方の面にMIS構造のセンシング部を形成するとともに、前記半導体基板の他方の面に前記センシング部に対応するように固体光放射部を複合構造または一体構造で設け、この固体光放射部によって前記センシング部にプローブ用の光を適宜照射するように構成したことを特徴とする光走査型デバイス。
IPC (2件)：
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