特許
J-GLOBAL ID：200903004646408378
高精度実装用マーカー、高精度実装装置および高精度実装方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-243877
公開番号（公開出願番号）：特開平8-111600
出願日： 1994年10月07日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【目的】 短時間に基板と部品とを固定し、また基板と部品との固定強度を大きくするとともに、基板と部品との接触抵抗を減少する。【構成】 赤外光源22の上方に基板用ステージ23を設け、基板用ステージ23上にヒータ24を設け、ヒータ24上にシリコン基板25を取り付け、部品用ステージ26にLDチップ28を取り付け、LDチップ28の上方に赤外線顕微鏡30を設け、赤外線顕微鏡30に赤外線カメラ31を接続し、赤外線カメラ31に画像処理装置27を接続し、画像処理装置27にモニタ32を接続し、赤外線顕微鏡30と赤外線カメラ31との間にハーフミラー33を設け、ハーフミラー33の近傍にホトダイオード34を設け、ホトダイオード34に光強度測定器35を接続し、基板用ステージ23、部品用ステージ26、画像処理装置27を制御する制御装置29を設ける。
請求項（抜粋）：
赤外光透過材製の部品を赤外光透過材製または赤外光吸収材製の基板上に位置合わせして固定するための高精度実装用マーカーにおいて、上記部品の下面、上記基板の上面の一方に取り付けられた第1のマーカー、上記部品の下面、上記基板の上面の他方に取り付けられた第2のマーカーであって、上記第1のマーカーは長方形の切り欠き部を有しかつ赤外光反射材料製であり、上記第2のマーカーは長方形を除く平行四辺形でかつ赤外光反射材料製であり、上記第2のマーカーの平行四辺形の一方の高さが上記第1のマーカーの上記切り欠き部の一方の辺の長さより長いことを特徴とする高精度実装用マーカー。
IPC (6件)：
H05K 13/04
, B23P 21/00 305
, G05D 3/12
, H01L 21/68
, H01L 23/00
, H01S 3/18
