特許
J-GLOBAL ID:200903004646986860
検査ユニット、表示装置及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
前田 弘
, 竹内 祐二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-318555
公開番号(公開出願番号):特開2008-134073
出願日: 2006年11月27日
公開日(公表日): 2008年06月12日
要約:
【課題】検査ユニット20の検査に伴う損耗を抑制する。【解決手段】検査ユニット20は、基板部材22と、検査時に複数の検査パッド19にそれぞれ接触するように、基板部材22に設けられた素子領域24に突出して形成された複数の検査素子31と、基板部材22における素子領域24の外側に突出して形成されたダミー検査素子41とを備える。【選択図】図3
請求項(抜粋):
複数の検査パッドが形成された基板を含む装置を検査するための検査ユニットであって、
基板部材と、
検査時に上記複数の検査パッドにそれぞれ接触するように、上記基板部材に設けられた素子領域に突出して形成された複数の検査素子と、
上記基板部材における上記素子領域の外側に突出して形成されたダミー検査素子とを備えている
ことを特徴とする検査ユニット。
IPC (6件):
G01R 31/00
, G09F 9/00
, G09F 9/30
, G02F 1/13
, G02F 1/134
, G01R 1/073
FI (6件):
G01R31/00
, G09F9/00 352
, G09F9/30 330Z
, G02F1/13 101
, G02F1/1345
, G01R1/073 F
Fターム (28件):
2G011AA10
, 2G011AA15
, 2G011AA21
, 2G011AB05
, 2G011AB06
, 2G011AB08
, 2G011AC14
, 2G011AC21
, 2G011AE22
, 2G036AA24
, 2G036BA33
, 2G036CA12
, 2H088FA12
, 2H088FA13
, 2H088FA30
, 2H092GA42
, 2H092GA61
, 2H092JB77
, 2H092MA57
, 2H092NA17
, 2H092NA30
, 5C094AA41
, 5C094BA43
, 5C094EA03
, 5C094GB10
, 5G435AA19
, 5G435BB12
, 5G435KK10
引用特許:
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